山东某半导体公司是一家专一于碳化硅单晶衬底质料研发、出产和发卖的科技型企业。在半导体工艺制程中,须要利用多种特别气体、巨额的酸开云APP官方网站碱等化学品和无机溶剂和蒸发性液体,这些气体和化学品在半导体成立的差别工艺中利用会发生废气。半导体企业废气普通分为酸性排气、碱性排气、开云APP官网无机废气、砷排和普通排气等。
在做废气处置装备前段,须要对半导体出产车间的废气停止搜集,经过透风管道体系投入废气处置装备,才具有用管理;
酸性废气采取碱液洗濯塔,废气与氢氧化钠接收液停止气液两相充实打仗接收中庸反映,酸性废气颠末污染后,碱性废气投入第二段酸液洗濯塔,与稀硫酸接收液停止气液两相充实打仗接收中庸反映,碱性废气颠末污染
怡帆电机定制的废气体系处置计划,VOCs排放浓度契合本地的排放尺度,在半导体行业中该体系装备更迷信、更平安、高效力的办理废气题目,性价比更高,且无二次净化。
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